6英寸車規級碳化硅晶圓制造無塵車間內，設備上綠色、黃色燈光閃爍，工作人員看一眼就知道設備處于生產還是閑置狀態;幾名設備工程師正在調試新裝設備，沖刺擴產;“天車”沿著無塵車間屋頂的軌道懸垂于空中往返穿梭，調試與機器人“搭檔”搬運芯片，將實現機臺到機臺的全自動無人化搬運;無塵車間外的辦公室內，工程師坐在電腦前通過設備共享屏幕遠程監控設備狀況，“千里眼”明察秋毫，指尖輕點鍵盤即可隨時遠程處理各種狀況……新年伊始，位于廣州南沙的國內最大專注于車規級碳化硅芯片制造企業芯粵能廠內一派熱火朝天的生產景象。
作為廣東“強芯工程”重大項目，芯粵能今年正加速一期產能爬坡，年底實現年產24萬片6英寸車規級碳化硅芯片的規劃產能。芯粵能項目達產后將極大緩解當前國產車規級碳化硅芯片緊缺的現狀，成為全球領先的車規級碳化硅功率半導體制造企業之一，解決碳化硅芯片“卡脖子”問題，奠定中國碳化硅功率器件領域的領先地位。
來源：廣州日報 耿旭靜、董業衡
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